




这些物质紧密地覆盖在金属表面上成为钝化膜而导致金属钝化,化学钝化则是像浓hno3等氧化剂直接对金属的作用而在表面形成氧化膜,或加入易钝化的金属如cr、ni等而引起的。化学钝化时,加入的氧化剂浓度还不应小于某一临界值,不然不但不会导致钝态,反将引起金属更快的溶解。
在氧化层中大部分的电荷效应是直接或间接地同热氧化的工艺过程有关的。在800—1250~c的温度范围内,铝钝化,用干氧、湿氧或水汽进行的热氧化过程有三个持续的阶段,首先是环境气氛中的氧进入到已生成的氧化层中,然后氧通过二氧化硅向内部扩散,当它到达si02-si界面时就同硅发生反应,铝钝化怎么用,形成新的二氧化硅。这样不断发生着氧的进入—扩散—反应过程,使靠近界面的硅不断转化为二氧化硅,铝钝化好不好,氧化层就以一定的速率向硅片内部生长。
当金属溶解时,处在钝化条件下,在表面生成紧密的、覆盖性---的固态物质,这种物质形成独钝化立的相,称为钝化膜或称成相膜,此膜将金属表面和溶液机械地隔离开,使金属的溶解速度---降低,而呈钝态。实验证据是在某些钝化的金属表面上,可看到成相膜的存在,并能测其厚度和组成。
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