在氧化层中大部分的电荷效应是直接或间接地同热氧化的工艺过程有关的。在800—1250~c的温度范围内，用干氧、湿氧或水汽进行的热氧化过程有三个持续的阶段，首先是环境气氛中的氧进入到已生成的氧化层中，然后氧通过二氧化硅向内部扩散，当它到达si02-si界面时就同硅发生反应，金属钝化，形成新的二氧化硅。这样不断发生着氧的进入—扩散—反应过程，使靠近界面的硅不断转化为二氧化硅，氧化层就以一定的速率向硅片内部生长。
于是，就要增大电极的电流密度，电极的电位会变得更正。这就有可能引起oh-离子在电极上放电，其产物（如oh）又和电极表面上的金属原子反应而生成钝化膜。分析得知大多数钝化膜由金属氧化物组成（如铁之fe3o4），但少数也有由氢氧化物、---盐、磷酸盐、硅酸盐及难溶---盐和氯化物等组成。
于是，溶度积较小的金属氢氧化物或某种盐类就要沉积在金属表面并形成一层不溶性膜，这膜往往很疏松，钝化剂，它还不---直接导致金属的钝化，而只能阻碍金属的溶解，钝化处理，但电极表面被它覆盖了，青海钝化，溶液和金属的接触面积大为缩小。于是，就要增大电极的电流密度，电极的电位会变得更正。
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